Avantages des microsystèmes

La question est de savoir pourquoi nous voulons miniaturiser certains objets ?

Pour limiter l'encombrement,

Mais pas seulement ...

• les MOEMS requièrent des forces mécaniques très faibles;

• les phénomènes optiques requièrent de très petits déplacements – λ/4 ;

• la compatibilité avec les circuits intégrés : par l'utilisation du silicium notamment,

• la miniaturisation autorise l'intégration de la source, de la détection, du traitement de l'information et du conditionnement sur une même puce compatible avec les circuits intégrés; la miniaturisation permet de réaliser des réseaux de capteurs ou de détecteurs;

• la faible distance entre les éléments qui permet la réduction des effets capacitifs et l'utilisation des longueurs d'onde optiques permettent à la fois la réduction des temps de réponse et l'accroissement des bandes passantes;

• la réduction des coûts de fabrication : l'utilisation des technologies issues de la microélectronique permet une fabrication collective (en parallèle à partir d'un même wafer), l'intégration de plusieurs fonctions sur une même puce et la reproduction d'un dispositif à des millions d'exemplaires à un coût moindre;

• l'amélioration de la résistance mécanique du fait de fréquences de résonance très élevées et de l'utilisation dans de nombreux cas de silicium monocristallin.

Quelques inconvénients cependant :

• les problèmes de bruit et d'amplification du bruit;

• des coûts de développement très élevés;

• les limites de la physique à une minitaurisation toujours plus poussée.