Caractérisation des microsystèmes par la mesure optique

Les techniques basées sur l'interférométrie optique apportent des informations précieuses sur les micro-dispositifs qui sont destinés à actionner ou à être actionnés ou à être déformés.

De plus, ces mesures sont sans contact.

On peut mesurer par exemple :

• le profil 3D d'un composant ;

• les paramètres de déflection d'un micro-actionneur;

• le profil 3D dynamique de déformation d'un micro-miroir;

• le comportement thermique d'un micro-composant lors d'un échauffement;

• la détection de défauts de fabrication ou de contraintes;

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