Les cavités laser Fabry-Pérot accordables

La possibilité de nano-positionnement est essentielle pour des applications telles que les cavités laser accordables pour lesquelles les dimensions spécifiques sont de l'ordre de la longueur d'onde laser. Cette nécessité a permis un mariage réussi entre les capacités de nanopositionnement des MEMS et la technologie des VCSEL (Vertical Cavity Surface Emitting Laser). Les VCSEL ont été inventés à la fin des années 1980 comme des moyens pour obtenir des lasers solides pour émettre de la lumière verticalement par rapport à un substrat ce qui est préférable pour un grand nombre d'applications en éclairage, interconnexions optiques, etc...

Dans les structures initiales, le miroir supérieur du VCSEL était un réflecteur de Bragg distribué (DBR Distributed Bragg Reflector). Dans la configuration microsystème décrite par l'image ci-dessous et datée de 1995, le réflecteur est lié à une structure poutre encastrée mobile qui est capable d'accorder la longueur d'onde de résonance jusqu'à 15 nm avec une tension de commande faible d'approximativement 5 à 7 V.

Depuis ces premières réalisations, l'accordabilité a été améliorée pour couvrir toute la gamme 1530-1620 nm des longueurs d'onde des communications DWDM.