Les sources

On trouve dans cette catégorie :

• des sources thermiques

• des dispositifs à semiconducteurs

  • LEDs

  • Diodes laser à émission classique par la tranche ou verticale (VCSEL)

On peut noter que ces dispositifs bien qu'ils utilisent les techniques de microfabrication des microsystèmes ne sont pas toujours considérés comme tels. En revanche, les possibilités d'intégration font qu'ils font facilement partie de microsystèmes plus complexes.