On est capable de réaliser :
des interféromètres de Fabry-Pérot
des interféromètres de Mach-Zehnder
des interféromètres de Michelson
à base de microsystèmes optiques.
Pour ce qui concerne les interféromètres de Fabry-Pérot, il s'agit de structures multicouches membranaires dans lesquelles l'actionnement mécanique ou électromécanique du mouvement de la membrane suspendue permet de modifier la longueur du chemin optique de la lumière pour faire changer la gamme de longueur du spectre de la lumière transmise.
Il est également possible de réaliser des réseaux d'interféromètres de Fabry-Pérot notamment pour couvrir des régions spectrales plus étendues.
Les autres types d'interféromètres peuvent être réalisés en optique intégrée et utilisent des coupleurs directionnels dont les perturbations apportées aux différents bras permettent de modifier les états de phase des ondes incidentes au niveau du coupleur pour faire évoluer la figure d'interférences en sortie.