Les différentes catégories de microsystèmes décrites précédemment peuvent être combinées pour permettre de réaliser :
des commutateurs optiques, par exemple en utilisant un principe interférométrique en optique intégrée
des spectromètres, par exemples en utilisant des interféromètres de Fabry-Pérot ou bien comme ci-dessous en utilisant la dispersion par un réseau de diffraction
des modulateurs de lumière pour réaliser des systèmes d'affichage notamment.